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傳感技術(shù)聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(以下簡(jiǎn)稱(chēng)實(shí)驗(yàn)室)于1987年成立,1989年通過(guò)驗(yàn)收后正式對(duì)外開(kāi)放,于1993年、1997年和2002年三次通過(guò)國(guó)家評(píng)估。實(shí)驗(yàn)室由南北兩個(gè)基地及四個(gè)專(zhuān)業(yè)點(diǎn)組成,南方依托單位為上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所,兩個(gè)專(zhuān)業(yè)點(diǎn)分別在上海技術(shù)物理研究所、合肥智能機(jī)械研究所,北方依托單位為電子學(xué)研究所,兩個(gè)專(zhuān)業(yè)點(diǎn)分別在半導(dǎo)體研究所和微生物研究所。現(xiàn)任實(shí)驗(yàn)室主任為楊根慶研究員;學(xué)術(shù)委員會(huì)主任為朱敏慧研究員。

實(shí)驗(yàn)室性質(zhì)屬應(yīng)用基礎(chǔ)研究,南方各單位主要側(cè)重物理量器件及其相關(guān)技術(shù)研究,北方各單位主要側(cè)重化學(xué)量器件及其相關(guān)技術(shù)研究。

實(shí)驗(yàn)室主要學(xué)術(shù)方向是以微電子技術(shù)和微機(jī)械加工技術(shù)為基礎(chǔ)的微傳感器及微系統(tǒng)研究,其主要研究?jī)?nèi)容為:(1)基礎(chǔ)研究:為微米尺度力學(xué)、光學(xué)、熱學(xué)與材料特性以及真空微電子學(xué)研究;(2)制備技術(shù)研究:MEMS加工技術(shù)研究;(3)新型器件研究:新型傳感器原理及器件研究;(4)系統(tǒng)技術(shù)研究:集成化微系統(tǒng)設(shè)計(jì)、微型化技術(shù)及系統(tǒng)集成、封裝和系統(tǒng)測(cè)試等研究。 實(shí)驗(yàn)室建設(shè)至今15年來(lái),先后主持國(guó)家攀登B計(jì)劃項(xiàng)目及“973”計(jì)劃,以及“七五”至“十五”國(guó)家攻關(guān)項(xiàng)目,開(kāi)展了微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工技術(shù)及器件研究,如在國(guó)內(nèi)首次研制成功微型靜電晃動(dòng)馬達(dá)、微型諧振子、壓阻型微陀螺,高沖擊加速度傳感器,高精度諧振壓力傳感器,真空微電子壓力傳感器以及微機(jī)械紅外熱堆陣列等器件,近幾年在微米尺度光學(xué)器件、微米尺度動(dòng)力學(xué)、微摩擦機(jī)理、微米尺度的材料特性等方面做出了創(chuàng)新性的工作。特別是為國(guó)家的氣象衛(wèi)星系列、海洋衛(wèi)星、神州飛船有效載荷提供了全部碲鎘汞紅外傳感器或焦平面組件,圖象質(zhì)量已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。實(shí)驗(yàn)室歷年來(lái)研制的鉑薄膜電阻溫度傳感器、厚膜壓力傳感器、離子敏場(chǎng)效應(yīng)管生物傳感器、表面等離子體諧振測(cè)試儀、高溫壓力傳感器等系統(tǒng)均已產(chǎn)品化或已技術(shù)轉(zhuǎn)讓。實(shí)驗(yàn)室還在航天器微型化技術(shù)等方面為國(guó)家重大戰(zhàn)略工程提供技術(shù)論證報(bào)告,開(kāi)展相關(guān)研究。

近年來(lái)實(shí)驗(yàn)室共獲國(guó)家科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)等國(guó)家級(jí)和省部級(jí)獎(jiǎng)項(xiàng)10多項(xiàng),在國(guó)際和國(guó)內(nèi)核心刊物上發(fā)表學(xué)術(shù)論文300多篇,授權(quán)發(fā)明專(zhuān)利7項(xiàng),并多次在國(guó)際會(huì)議上作特邀報(bào)告。

實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有固定人員40人,其中有方家熊院士,王躍林博士、夏善紅博士等博士生導(dǎo)師15名,研究員26名。有博士后6人,在讀博士生18人,碩士生35人。

為了與世界傳感技術(shù)發(fā)展同步,根據(jù)現(xiàn)有基礎(chǔ),實(shí)驗(yàn)室下一步要針對(duì)國(guó)家需求和學(xué)科前沿,以微科學(xué)和微技術(shù)為基礎(chǔ),開(kāi)展微傳感器、微執(zhí)行器及微系統(tǒng)創(chuàng)新性研究;在隊(duì)伍建設(shè)上要引進(jìn)和培養(yǎng)優(yōu)秀人才,更多地加強(qiáng)與國(guó)內(nèi)外單位的合作研究;在研究上要集中力量予以突破,取得重大成果;對(duì)已在推廣應(yīng)用的項(xiàng)目及課題,要加大投入,取得更大效益。

地 址:上海市長(zhǎng)寧路865號(hào)

郵政編碼:200050

電 話:021-62511070

實(shí)驗(yàn)室編號(hào):  1987DA173085  建設(shè)年份:  1987
實(shí)驗(yàn)室名稱(chēng):  傳感技術(shù)聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室  驗(yàn)收年份:  1989 
實(shí)驗(yàn)室曾用名:  傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 依托單位:  中科院上海微系統(tǒng)與信息所 電子學(xué)所 
主 管部 門(mén):  中國(guó)科學(xué)院  所在地區(qū):  上海 
學(xué) 科領(lǐng) 域:  信息  網(wǎng) 址:  http://www.sim.ac.cn/ 

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